(과제) 현상 밀착성이 우수한 경화막을 형성할 수 있는 감방사선성 조성물을 제공하는 것.(해결 수단) 식 (1)로 나타나는 기 또는 산 해리성기를 갖는 구조 단위 (I)을 포함하는 중합체 및 실록산 폴리머로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종인 중합체와, 광 산 발생제와, 소수성기와 수산기가 규소 원자에 결합한 부분 구조를 갖고, 또한 알콕시기를 갖지 않는 실라놀 화합물을 함유하는 감방사선성 조성물로 한다.식 (1) 중, R1, R2 및 R3은, 각각 독립적으로, 수소 원자, 할로겐 원자, 하이드록시기, 탄소수 1∼6의 알콕시기, 탄소수 1∼10의 알킬기, 또는 페닐기이다.단, R1, R2 및 R3 중 1개 이상은, 탄소수 1∼6의 알콕시기이다.「*」는, 결합손인 것을 나타낸다.
- 출원번호 : 10-2026-0031154
- 출원인 : 제이에스알 가부시키가이샤
- 특허번호 :
- IPC : G03F-007/075;G03F-007/004;G03F-007/022;G03F-007/023;G03F-007/20;G03F-007/26;